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    电子级多晶硅化学气相沉积炉

    产品特点

    采用银钢复合板作为反应腔体,对反应原料进行汽化、提纯、过滤等一系列纯化操作后,将高纯反应气体通入到反应器内,发生化学气相沉积反应生产高纯度的多晶硅产品,满足半导体级硅料的要求。

    产品参数

    可根据客户需求进行非标定制.

    硅单晶生长炉

    产品特点

    Ø设备装料量大,生产效率高,生产成本低;

    Ø采用全面数字化管理,配合高精度的CCD控制系统,全面提供设备自动化程度;

    Ø采用自动报警检测和安全泄放装置,保证设备安全可靠。

    产品参数

    名称

    硅单晶生长炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1600

     

    产品尺寸/inch

    8~12

     

    装料量/kg

    ≥850

     

    适用热场规格/inch

    32/36/40

     

    最大等径长度/mm

    4700

     

    主体占地尺寸/mm

    3440*2540*13000

     

    全自动硅芯炉

    产品特点

    Ø可一次性同时拉制多根直径8~25毫米的圆柱状硅芯;·采用特殊的冷却机构,加快硅芯的生长速度;
    Ø采用全新的CCD监测系统,通过热成像原理可以检测液面和固液界面处的温度分布,从而实现全自动引晶、放肩、转肩和等径生长;
    Ø软件界面采用模块化设计,功能全面,操作方便,后期可以跟进客户需要对软件进行定制化升级。

    产品参数

    名称

    全自动硅芯炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1200

     

    产品尺寸/mm

    8~25毫米圆柱硅芯

     

    装料量/kg

    ≥350

     

    适用热场规格/inch

    28

     

    最大等径长度/mm

    3600

     

    主体占地尺寸/mm

    2800*2000*11000

     

    服务热线电话

    021-57847500

    公司地址:上海市普陀区金沙江路1038号华大科技园C栋5A层5A01室

    工厂地址:江苏省镇江市京口区五峰山路68号

    邮箱:salesofficer@rhyme-sh.com

    邮编:200062

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