• 首页
  • 关于韵申
    • 公司简介
    • 发展历程
    • 企业文化
    • 荣誉资质
  • 产品与服务
    • 衬底材料晶体炉
    • 高纯流体设备与系统
    • 湿化学品工艺与设备
    • 半导体设备零部件
  • 韵申时讯
    • 公司动态
  • 招贤纳士
    • 加入我们
    • 联系我们
    • 办公环境
  • 021-57847500
  • 首页
  • 关于韵申
    公司简介 发展历程 企业文化 荣誉资质
  • 产品与服务
    衬底材料晶体炉 高纯流体设备与系统 湿化学品工艺与设备 半导体设备零部件
  • 韵申时讯
    公司动态
  • 招贤纳士
    加入我们 联系我们 办公环境
产品中心
  • 衬底材料晶体炉
  • 硅材料晶体炉 化合物半导体晶体炉 高温烧结炉
  • 高纯流体设备与系统
  • 装置模块化解决方案 EP级设备 MO\CVD\ALD源瓶
  • 湿化学品工艺与设备
  • 湿电子化学品解决方案 非标衬氟设备 ISO TANK
  • 半导体设备零部件
  • 非标焊接件 非标气柜GAS BOX
    当前位置: 首页> 产品与服务> 衬底材料晶体炉

    电子级多晶硅化学气相沉积炉

    产品特点

    采用银钢复合板作为反应腔体,对反应原料进行汽化、提纯、过滤等一系列纯化操作后,将高纯反应气体通入到反应器内,发生化学气相沉积反应生产高纯度的多晶硅产品,满足半导体级硅料的要求。

    产品参数

    可根据客户需求进行非标定制.

    硅单晶生长炉

    产品特点

    Ø设备装料量大,生产效率高,生产成本低;

    Ø采用全面数字化管理,配合高精度的CCD控制系统,全面提供设备自动化程度;

    Ø采用自动报警检测和安全泄放装置,保证设备安全可靠。

    产品参数

    名称

    硅单晶生长炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1600

     

    产品尺寸/inch

    8~12

     

    装料量/kg

    ≥850

     

    适用热场规格/inch

    32/36/40

     

    最大等径长度/mm

    4700

     

    主体占地尺寸/mm

    3440*2540*13000

     

    高温烧结炉系列

    产品特点

    Ø  工作压力:真空或高压(≥10MPa)

    Ø  加热方式:电阻加热

    Ø  合理的热场设计,炉内温度均匀性好

    Ø  高压设备按照压力容器标准采用GB150或JB4732进行设计,保证设备设计安全性能

    可提供产品:

    u  高纯石英烧结炉

    u  靶材烧结炉

    u  碳化硅烧结炉

    产品参数

    高温烧结炉能够在高温下对材料进行烧结、合成、分解或其它的化学反应,主要用于生产高性能陶瓷材料等。

    化合物晶体炉

    产品特点

    采用提拉法、导模法、物理气相传输法、液相法等生长工艺,在真空或高压工况下,采用电阻/感应等加热方式,配合精密的机械传动机构,精准的温度控制技术和自动化的控制程序,从而生长出各种人工晶体材料。

    Ø  工作压力:真空或高压

    Ø  最高加热温度:≥2000℃

    Ø  加热形式:电阻或感应

    Ø  控温精度:≤±0.5℃

    Ø  配套流场和温场仿真计算

    Ø  集成化设计,自动化程度高

    Ø  可根据客户需求进行定制化设计

    可提供产品:

    u  蓝宝石长晶炉

    u  磷化铟多晶合成炉

    u  磷化铟单晶生长炉

    u  砷化镓长晶炉

    u  碳化硅长晶炉

    u  氧化镓长晶炉

    全自动硅芯炉

    产品特点

    Ø可一次性同时拉制多根直径8~25毫米的圆柱状硅芯;·采用特殊的冷却机构,加快硅芯的生长速度;
    Ø采用全新的CCD监测系统,通过热成像原理可以检测液面和固液界面处的温度分布,从而实现全自动引晶、放肩、转肩和等径生长;
    Ø软件界面采用模块化设计,功能全面,操作方便,后期可以跟进客户需要对软件进行定制化升级。

    产品参数

    名称

    全自动硅芯炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1200

     

    产品尺寸/mm

    8~25毫米圆柱硅芯

     

    装料量/kg

    ≥350

     

    适用热场规格/inch

    28

     

    最大等径长度/mm

    3600

     

    主体占地尺寸/mm

    2800*2000*11000

     

    服务热线电话

    021-57847500

    公司地址:上海市普陀区金沙江路1038号华大科技园C栋5A层5A01室

    工厂地址:江苏省镇江市京口区五峰山路68号

    邮箱:salesofficer@rhyme-sh.com

    邮编:200062

    关注我们

    关于韵申

    公司简介

    发展历程

    企业文化

    荣誉资质

    产品与服务

    衬底材料晶体炉

    高纯流体设备与系统

    湿化学品工艺与设备

    半导体设备零部件

    韵申时讯

    公司动态

    招贤纳士

    加入我们

    联系我们

    办公环境

    COPYRIGHT © 上海韵申新能源科技有限公司版权所有ALL RIGHTS RESERVED.

    备案号:沪ICP备18006837号